中新网1月22日电据军报记者网报道，记者今天从国防科技大学获悉，由该校机电工程与主动化学院自主研制的新一代超精密光学零件加工设备，日前通过相干单位组织的工艺考核。

　　成果表明，该套设备加工精度实现亚纳米级重大突破，其范例实验件的光学零件面形精度RMS(均方根)值达到0.361纳米，标记我国超精密光学零件加工技巧跨入世界领先行列。

　　超精密加工技巧是先进设备制作的要害性瓶颈技巧，纳米精度被誉为超精密加工技巧“皇冠上的明珠”。

　　过去，由于我国光学零件加工技巧落后，无法进行大口径、高精度、复杂面形的光学零件加工，严重制约相干领域的技巧进步。

　　20世纪80年代以来，该校精密工程创新团队在李圣怡教授带领下，经过30多年坚强拼搏与自主创新，先后突破高精度机床精密运动机构设计、高效磁流变抛光液配制、离子束稳固把持、光学元件亚纳米全频段误差把持等核心要害技巧，研制出一系列具有自主知识产权的磁流变、离子束抛光设备，打破了发达国家对超精密加工设备的技巧封锁，使我国成为继美、德之后全面控制磁流变和离子束抛光设备两种高精度光学零件加工技巧的国家。

　　近年来，该校精密工程创新团队在“极大规模集成电路制作设备与成套工艺”国家重大科技专项二期项目和国家自然科学基金重大项目支撑下，研制成功新一代离子束抛光机床与数控光顺抛光机床，其最小可控材料去除量达到0.1纳米。

　　有关专家指出，这一自主创新成果可为“极大规模集成电路制作设备与成套工艺”、“高分辨率对地观测系统”等国家重大科技专项供给有力技巧保障和设备支撑，将直接增进相干领域要害技巧突破，对于提升我国先进设备制作程度具有重要意义。

　　(记者王握文、通信员王孝恭、汪东)(声明：本稿件由军报记者网供给，如需转载须经对方授权)作者：王握文王孝恭汪东。